ACISは、設計パターンデータから作成した理想画像と実際に取得した顕微鏡像の比較を行うシステムです。 マスクパターン欠陥検査用簡易参照画像シミュレータ「ACIS: ALITECS Computational Inspection System: RIG “A

電子ビーム描画装置の性能評価・最適化や露光プロセスのシミュレーションに利用される高機能なシミュレーションツールです。主に半導体製造やフォトマスク設計など、ナノスケールの描画を必要とする最先端分野で活用されます。