電子光学シミュレータ「AEOs」

電子ビーム描画装置の性能評価・最適化や露光プロセスのシミュレーションに利用される高機能なシミュレーションツールです。
主に半導体製造やフォトマスク設計など、ナノスケールの描画を必要とする最先端分野で活用されます。