モデルベース画像データ処理システム 「ACIS」

ACISは、設計パターンデータから作成した理想画像と実際に取得した顕微鏡像の比較を行うシステムです。

1. マスクパターン欠陥検査用簡易参照画像シミュレータ
   「ACIS: ALITECS Computational Inspection System: RIG “ALITECS Reference Image Generator”」
2. マスクパターン欠陥検査ソフトウェア
   「ACIS: ALITECS Computational Inspection System: SIP “ALITECS Software defined Image Processor”」