Realizing ALITECS idea
Accelerating ALITECS technology
Enhancing ALITECS’s corporate value
Forming the ALITECS foundation
電子ビーム描画装置の性能評価・最適化や露光プロセスのシミュレーションに利用される高機能なシミュレーションツールです。主に半導体製造やフォ
