Electronics simulator
AEOs

電子ビーム描画装置の性能評価・最適化や露光プロセスのシミュレーションに利用される高機能なSimulation Toolsです。
主に半導体製造やフォトマスク設計など、ナノスケールの描画を必要とする最先端分野で活用されます。